微电铸金属模具的制造办法

作者：daweidianzhu  来源：本站  发表时间：2015-6-22 16:22:33

      一种微电铸金属模具的制造办法,包含模具基底前处理、微电铸母模的制造、微电铸、微电铸后处理、模具的检测工序,其特征是：选用“无背板生长法”,无背板生长法就是经过紫外线UV照耀光刻掩模板直接在镍基板上电铸出微结构图形；在微电铸母模的制造工序中,在SU-8光刻胶与基板间加入了光刻胶的种子层；在微电铸后处理工序中,选用真空退火,其制造办法的具体步骤如下：(1)模具基底前处理包含高纯度镍基板的机械加工前处理和表面清洁,表面清洁选用有机溶剂除油法,有机溶剂选用丙酮和乙醇； (2)在微电铸母模的制造工序中,SU-8光刻胶与种子层选用光刻技术中的套刻技术,经过光刻胶的显影得到自由空间； (3)在微电铸工序中,将电铸镍金属填充于自由空间中,微电铸电铸液的配方为氨基磺酸镍：360～380g/L、氯化镍：5～10g/L、硼酸：50～60g/L；微电铸技术条件为：PH值：3.5～4.0、温度：50℃～55℃、电流密度1～2A/dm2。 (4)在微电铸后处理工序中,先进行真空退火处理,其温度为200～800℃、时刻为60～200分钟；再进行精磨加工。 依照该办法制造的微电铸金属模具具有侧壁笔直度、表面光洁度好的长处,处理根据模塑法、热压法的大规模、低成本生产的聚合物、塑料产品质量低下的问题。适用于有机聚合物、塑料的微细加工。